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电镜、能谱仪故障四例的排除方法刘伟（东北大学材料测试中心，沈阳１１０００６）一、ＥＭ－４００Ｔ电镜上使用的真空阀均是气阀。长年使用，气阀密封部位严重磨损，造成漏气，以至使真空气阀不能正常动作，造成电镜无法正常地运行。该电镜用了七只常闭气阀，三只常开气...
电镜,能谱仪故障四例的排除方法
【摘 要】
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电镜、能谱仪故障四例的排除方法刘伟（东北大学材料测试中心，沈阳１１０００６）一、ＥＭ－４００Ｔ电镜上使用的真空阀均是气阀。长年使用，气阀密封部位严重磨损，造成漏气，以至使真空气阀不能正常动作，造成电镜
【机 构】
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东北大学材料测试中心
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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1996年6期
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