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对主要成分为Zr和Co的新型非蒸散消气剂进行了活化温度及吸气性能的实验研究.实验表明其活化温度为200～250℃,对N2,H2等活性气体有很好的抽速,对惰性气体He等无抽速.
新型非蒸散消气剂的激活温度和吸气性能的实验研究
【摘 要】
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对主要成分为Zr和Co的新型非蒸散消气剂进行了活化温度及吸气性能的实验研究.实验表明其活化温度为200～250℃,对N2,H2等活性气体有很好的抽速,对惰性气体He等无抽速.
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2003年5期
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