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氮化硅是优良的陶瓷材料,应用十分广泛.本文论述了激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅的工作原理,提出了减少游离硅的措施;采用双光束激发制备得到了超微非晶纳米氮化硅粉体.
双光束激发改进纳米氮化硅合成工艺
【摘 要】
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氮化硅是优良的陶瓷材料,应用十分广泛.本文论述了激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅的工作原理,提出了减少游离硅的措施;采用双光束激发制备得到了超微非晶纳米氮化硅粉
【机 构】
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中国科学院安徽光学精密机械研究所,中国科学院安徽光学精密机械研究所
【出 处】
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佛山陶瓷
【发表日期】
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2004年5期
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