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利用离子束辅助技术在黄铜与２０＾＃钢衬底上进行了沉积ＭｏＳｘ膜的研究。对该膜在常温大气环境中的摩擦损特性用针－盘磨损试验进行了评价；用ＸＲＤ和ＸＰＳ检查了磨损前后膜的生成相，组分及Ｍｏ元素价态的变化，发现不同度衬底上的ＭｏＳｘ膜在磨损中出现显著不同的结晶学变化，并对这一现角作了讨论。
不同衬底上离子束辅助沉积MoSx膜的研究
【摘 要】
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利用离子束辅助技术在黄铜与２０＾＃钢衬底上进行了沉积ＭｏＳｘ膜的研究。对该膜在常温大气环境中的摩擦损特性用针－盘磨损试验进行了评价；用ＸＲＤ和ＸＰＳ检查了磨损前后膜的生成相，组分及Ｍｏ元素价态的变化
【出 处】
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四川大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1994年4期
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