【摘 要】
：
提出了一种基于微机电系统(MEMS)扭镜结构的光纤磁场传感器,并利用对角度变化非常敏感的双光纤准直器对扭镜的扭转角度进行了检测。该MEMS光纤磁传感器由MEMS扭镜结构、磁性
【机 构】
：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室微系统技术重点实验室,中国科学院大学、微系统与信息技术学院
论文部分内容阅读
提出了一种基于微机电系统(MEMS)扭镜结构的光纤磁场传感器,并利用对角度变化非常敏感的双光纤准直器对扭镜的扭转角度进行了检测。该MEMS光纤磁传感器由MEMS扭镜结构、磁性敏感薄膜和双光纤准直器组成。文中分析了器件的磁敏感原理和光纤检测原理,介绍了器件综合设计方法,并给出了器件的结构参数。利用MEMS加工技术成功制作出了MEMS光纤磁传感器样品,最终得到的磁传感器的尺寸为3.7 mm×2.7 mm×0.5 mm。对磁传感器进行了实验测试,得到的输出实验值与理论值吻合。测试结果表明,该磁传感器的光纤检测灵敏度可达到0.65 dB/mT,最小可分辨磁场可达167 nT。将MEMS敏感结构与光纤检测相结合,该传感器兼备了两者的优点,结构紧凑、制作工艺简单、工作时无需电流激励。
其他文献
传统版权保护模式无法真正深入计算机软件的内核,导致对计算机软件功能及构思存在"保护失灵";而商业秘密保护则日益凸显过高的成本和潜在的泄密风险问题,计算机软件的专利保
<正>20世纪90年代东西德统一后面临着两地在思想意识、生活水平、发展模式等方面的巨大差异。然而,经过近20年的努力,现在德国已成为联邦制国家中均等化程度最高的国家之一:
农业产业化：理论与政策○张建武彭东慧农业产业化问题是目前农业研究和政府农村工作的热点和重点问题之一。本文就农业产业化的有关理论内涵、政策等问题做一个初步的研究。一
西班牙著名艺术家萨尔瓦多.达利自1930年代中期开始,将图底关系的转换运用于作品中并将其发挥至极致,将写实手法与双重意象法巧妙结合,尤其在以梦境为内容的作品中创造出怪诞
随着汽车行业的不断发展,汽车相关数据的规模不断扩大,而其蕴含的价值也不断提升。本文基于大数据的发展,首先分析了汽车行业数据现状,进而对汽车行业在大数据时代下的数据整
电信wlan网络技术作为目前我国三大wlan网络的提供者之一,其网络技术发展不算完善,相对国外有一定的差距,因此电信wlan网络技术在发展的道路上还有很大的提升空间,可以进一步
对移动互联网的商业模型、移动互联网所使用的两种网络(移动网和无线局域网)的网络特性、移动智能终端、移动网的网络特性和资源管理、移动互联网中的IP地址和寻址等5个问题
本文以CPRS数据库中已公开的与指纹识别相关的专利文献为基础,对指纹识别领域的中国专利申请进行统计,从年度申请量、分类号分布、主要申请人等方面分析了该领域中国发明专利
针对时滞系统的特点,提出一种基于遗传算法的多模型预测控制方法.利用多个模型逼近整个被控对象的动态特性,针对每个子模型,设计相应的子控制器,通过加权的方式,将有限个控制
目的:探讨糖尿病患者药物治疗依从性的影响因素及对策。方法:回顾性分析糖尿病患者的临床资料,以依从性差者作为观察组,依从性好者作为对照组,比较两组患者在年龄、月收入、