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红外膜厚测量仪是一种测量外延层厚度和掺杂浓度的仪器，目前国家尚没有检定规程或校准规范。文章给出了一种用测量显微镜先标定样块，然后用样块校准红外膜厚测量仪的方法，并给出了测量不确定度的计算方法，使得其可溯源至国家基准。
红外膜厚测量仪的校准问题
【摘 要】
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红外膜厚测量仪是一种测量外延层厚度和掺杂浓度的仪器，目前国家尚没有检定规程或校准规范。文章给出了一种用测量显微镜先标定样块，然后用样块校准红外膜厚测量仪的方法，并给出
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所
【出 处】
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工业计量
【发表日期】
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2008年1期
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