【摘 要】
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基于传统的位移传感器校准存在摩擦、空程等缺陷问题,提出了一种量程为0~3000mm高精度校准方案。该方案以激光干涉仪为基准,直线电机配合气浮导轨为驱动单元,创新型光栅实现
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基于传统的位移传感器校准存在摩擦、空程等缺陷问题,提出了一种量程为0~3000mm高精度校准方案。该方案以激光干涉仪为基准,直线电机配合气浮导轨为驱动单元,创新型光栅实现闭环控制,使定位精度在3μm/m量级。位移传感器校准时,通过六个自由度的可调夹具,使位移传感器运动方向与标准测量方向在同一条直线上,可实现阿贝误差的最大化消除。尤其针对特殊的浮子式传感器校准,通过设计专用夹具配合支撑点消除变形的校准方式,解决了测杆在校准过程存在的形变难题。同时,校准装置不确定度的评定和验证,表明该校准方法可行有效。
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