【摘 要】
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采用反应溅射的方法在具有立方织构的Ni基底上连续制备了Y2O3隔离层。用X射线θ-2θ扫描，φ扫描对薄膜的取向和织构进行表征，用扫描电子显微镜（SEM）对薄膜的表面形貌进行观察。主
【机 构】
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北京有色金属研究总院超导材料研究中心
【基金项目】
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国家973计划（2006CB601005）和863计划（2006AA032205）资助项目
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采用反应溅射的方法在具有立方织构的Ni基底上连续制备了Y2O3隔离层。用X射线θ-2θ扫描，φ扫描对薄膜的取向和织构进行表征，用扫描电子显微镜（SEM）对薄膜的表面形貌进行观察。主要研究了走带速率对隔离层外延生长及表面形貌的影响。实验表明：随着走带速率的增大，Y2O3的平面内妒扫描半高宽（FWHM）增大，（400）峰的相对强度减小，晶粒更加细小；同时，制备的三层Y2O3隔离层，其面内妒扫描半高宽取决于第一层的半高宽；最终在三层Y2O3隔离层上沉积了有良好外延取向的YBCO超导层，其FWHM为8．0
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