【摘 要】
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非晶碳化硅薄膜的结构可调制性及化学稳定性使它可用作超低k多孔介电薄膜的扩散阻挡层。主要改变了SiH4（80％Ar稀释）和CH4气体流量比R（R=[CH4]／（[CH4]＋[SiH4]）），使用微波电子回旋共振化
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非晶碳化硅薄膜的结构可调制性及化学稳定性使它可用作超低k多孔介电薄膜的扩散阻挡层。主要改变了SiH4（80％Ar稀释）和CH4气体流量比R（R=[CH4]／（[CH4]＋[SiH4]）），使用微波电子回旋共振化学气相沉积法制备了非化学计量比的非晶碳化硅薄膜（a-Si1-xCx：H）。薄膜沉积过程中放电等离子体的各基团行为由等离子体的发射光谱监测，而薄膜的结构与性能则由傅立叶变换红外光谱、紫外可见光谱等来表征。结果表明，在等离子体发射光谱中H、CH谱线强度随CH4流量的增加而增强，而SiH谱线强度则呈现相反
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