【摘 要】
：
硅外延工艺用SiCl_4原料以H_2作载体,在磨口石英反应器中进行.当尾气用水溶液鼓泡或塔器吸收时,因排气阻力和SiO_2堵塞,使外延系统压力上升,带来H_2泄漏或磨口冲出的危险,也
论文部分内容阅读
硅外延工艺用SiCl_4原料以H_2作载体,在磨口石英反应器中进行.当尾气用水溶液鼓泡或塔器吸收时,因排气阻力和SiO_2堵塞,使外延系统压力上升,带来H_2泄漏或磨口冲出的危险,也可能会影响外延工艺的稳定,因此,采用水喷雾法,对硅外延尾气进行净化.
Si_ (4) O_ (4) Si_ (4) O_ (4) Si_ (4_) O_ (4) Si_ (4) Or grinding out of danger, may also affect the stability of the epitaxial process, therefore, the use of water spray method, the silicon epitaxial tail gas purification.
其他文献
奔驰最新铰接客车,取名为“容量”(CAPACITY),在CITARO平台上研发出来,车长19．54米,四轴,后偏置发动机,第三轴驱动,第四轴为从动转向。
Benz’s latest articulated bus, nam
新疆维吾尔自治区地处我国西北边陲,光、热、水、土资源十分丰富,发展特色林果业具有得天独厚的优势。进入新世纪以来,新疆把建设特色林果基地作为实施优势资源转换战略的重
我国农业发展进入新阶段 ,加入 WTO也将带来国际经济环境的大改变 ,适时地调整我国农业保护目标和框架是必然之举。我国的农业保护应以提高农业综合实力为目标 ,由良好的宏观
本放大器用于光学测温及其他非接触测量的弱信号放大。本放大器采用低噪声晶体管, 合理选用工作点,并采用低噪声偏置电路等降低噪声的措施,使放大器的噪声指标达到或接近国内
这位营销狂人的“邪派”商业运营手法会毁掉整个网游产业吗? 2006年12月1日,一条同时出现在中央电视台一套和五套黄金时段的广告冲入了亿万观众的眼球:一位长发披肩
The mar
本文从《国务院关于加快发展现代职业教育的决定》对职业教育办学的要求出发,指出了高职院校开展校企合作的意义,分析了当前高职院校在校企合作办学中存在的问题,提出了解决
本文考察了影响阶跃恢复二极管阶跃截止时间的诸因素。在此基础上,提出一种新的超高速阶跃二极管结构——窄基区n~+pp~+突变结结构。分析表明,这种结构的阶跃二极管因采用扩
1中心城绿地建设工程1.1完善推进一纵两横绿廊景观骨架主要包括延安路、黄浦江和苏州河沿线,“十一五”期间规划总建设面积50hm2。1.2推进中心城均衡绿地建设按照500m服务半
一、引言 众所周知,制造半导体器件的平面工艺要求精密地控制氧化层厚度、扩散浓度及深度、外延层厚度以及这些参数在工艺过程中的纵向、横向均匀性。实验发现,气体的流量、
“科教兴国”是我国的发展战略.国家振兴靠科技,科技发展靠人才,人才培养靠教育.学校教育要培养面向21世纪全新的高素质人才,必须使学生从小受到科技方面的教育.小学数学教材