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磁悬浮技术由于无摩擦、无磨损、无污染、具有高加速度和高速度等突出优点，在当前Ic等制造领域具有广阔的应用前景，尤其适用于高真空、高洁净工作环境，新型磁悬浮定位技术成为国内外竞相研究热点。磁悬浮定位平台是一个非线性、多变量、强耦合的控制系统，为了实现控制系统的完全解耦，提高平台的定位精度，在结构、解耦方法和控制方法上，总结了国内外研究学者所做的大量研究，指出磁悬浮定位平台亟需解决的关键核心技术，优化磁悬浮定位平台性能，为Ic制造领域的迅速发展提供可借鉴的研究方向。