NBT-KBT100x铁电薄膜机电耦合性能

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本文主要研究了NBT-KBT100x(x=0.13、0.15、0.18、0.20、0.25)五种成分铁电薄膜微观晶体结构、微观形貌、贴点薄膜漏电流以及相对介电常数(ε)、铁电性、和有效的压电系数(deff33)等参数特征。这些参数分别由XRD、AFM、半导体参数测试系统、扫描探针显微镜和铁电分析系统测量。利用铁电材料的逆压电效应以及电致伸缩效应,耦合d33eff、P和ε,用唯象方法来计算NBT-KBT100x五种不同成分薄膜的电致伸缩应变(S3)和电致伸缩系数(Q33)。
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