【摘 要】
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研究发现在实际的DLC薄膜沉积过程中,薄膜的沉积速率与工件所处的位置有关,在同一装置内沿轴向取30 mm为间隔放置工件进行薄膜沉积,沉积一小时后三个工件表面薄膜沉积厚度依
【机 构】
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郑州大学化工与能源学院热能系统节能技术与装备教育部工程研究中心,郑州瑞邦石油机械有限公司
【基金项目】
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河南省“百人计划”人才项目（豫人才办[2015]4号）, “智汇郑州·1125聚才计划”项目（2015YL006）
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研究发现在实际的DLC薄膜沉积过程中,薄膜的沉积速率与工件所处的位置有关,在同一装置内沿轴向取30 mm为间隔放置工件进行薄膜沉积,沉积一小时后三个工件表面薄膜沉积厚度依次为2.4μm、2.1μm、1.8μm。通过有限元模拟软件Ansys对这种现象进行了分析,沉积装置内部气体的压强和气体质量分数分布变化不大,而装置不同位置处工件表面气体流速和气体密度有明显的变化,三个工件表面气体流速依次为0.072～0.103 m/s,0.089～0.121 m/s,0.114～0.148 m/s,气体密度为6.37e-
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