薄膜沉积厚度相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

薄膜沉积厚度相关论文

工件位置对薄膜沉积速率的影响

研究发现在实际的DLC薄膜沉积过程中,薄膜的沉积速率与工件所处的位置有关,在同一装置内沿轴向取30 mm为间隔放置工件进行薄膜沉积......

期刊

类金刚石薄膜薄膜沉积厚度 ANSYS 气体密度气体流速 diamond-like carbon （ DLC ） filmfilm deposition th

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