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采用低温共烧陶瓷（LTCC）31艺实现抗电磁干扰（EMI）低通滤波器，针对在工艺流程中出现的各种问题，通过分析后提出解决方案，经反复实验，成功制作出与设计目标相符合的器件。所总结的工艺经验同样适用于基于LTCC工艺的其他器件。
片式抗EMI低通滤波器的LTCC工艺研究
【摘 要】
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采用低温共烧陶瓷（LTCC）31艺实现抗电磁干扰（EMI）低通滤波器，针对在工艺流程中出现的各种问题，通过分析后提出解决方案，经反复实验，成功制作出与设计目标相符合的器件。所总结的工艺
【机 构】
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电子科技大学微电子与固体电子学院
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2009年1期
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