【摘 要】
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研制了一套以数字信号处理(DSP)芯片为控制器的一维纳米定位控制系统.该系统主要由驱动平台、微型迈克尔逊干涉仪、DSP控制器等三个模块组成.其中驱动平台模块由线性滑轨、超
【机 构】
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合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院,安徽 合肥,230009
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研制了一套以数字信号处理(DSP)芯片为控制器的一维纳米定位控制系统.该系统主要由驱动平台、微型迈克尔逊干涉仪、DSP控制器等三个模块组成.其中驱动平台模块由线性滑轨、超声波马达HR4和驱动器AB2组成.HR4配合其专用驱动器AB2利用摩擦力来驱动侧面贴有陶瓷片的线性滑轨,微型迈克尔逊干涉仪用来感测滑轨的位移.基于BP神经网络的PID控制算法和迈克尔逊干涉仪的信号处理运算全部由DSP控制器完成.实验结果表明,该定位系统行程为20 mm,定位精度优于10 nm,重复定位标准偏差为7 nm.该定位系统具有系统架构简单,定位精度高等优点,可用于大行程高精度定位应用场合.
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