【摘 要】
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批间控制（RtR）是半导体晶圆生产过程控制的有效算法．然而，受测量手段与测量成本的限制，难以实时检测晶圆的品质数据，即：存在一定的测量时延，通常该测量时延是随机，时变的，且直接影响批
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(61273142);江苏省六大人才高峰项目(2012–DZXX–045);江苏省高校优势学科建设工程项目(PAPD)资助~~
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批间控制（RtR）是半导体晶圆生产过程控制的有效算法．然而，受测量手段与测量成本的限制，难以实时检测晶圆的品质数据，即：存在一定的测量时延，通常该测量时延是随机，时变的，且直接影响批间控制器的性能．为此，本文基于指数加权移动平均（EWMA）算法，提出一种含随机测量时延的扰动估计方法．在分析测量概率的基础上，建立包含测量时延概率的扰动估计表达式；并采用期望最大化（EM）算法估计该测量时延的概率；然后分析系统可能存在的静差项，给出相应的补偿算法；最后讨论系统的稳定性．仿真实例验证所提算法的有效性．
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