批间控制相关论文
批间(Run-to-Run，R2R)控制已广泛应用于半导体生产行业。指数加权移动平均(Exponent Weighted Moving Average，EWMA)反馈控制是R2R控......
随着现代工业的发展，半导体/液晶面板(Thin film transistor liquid crystaldisplay，TFT-LCD)生产过程日趋大型化、复杂化，制造流程越......
随着晶圆特征尺寸的不断减小、晶圆直径的不断增大，半导体制造过程变得越来越复杂，对半导体制造装备及其自动化水平要求也越来越高，而......
半导体制造业在国民经济建设、社会发展和国家安全中处于重要的战略地位,促进了经济的持续增长,推动了信息产业的(通信、计算机、......
针对循环生产的半导体双产品制造过程提出了一种新的控制方法．此方法采用前面批次的参数估计机台漂移，机台干扰由前馈和未来批次的反......
针对混合产品半导体制程，采用了一种多重输入输出批间控制技术．该技术从目前的单机、单产品与单变量的批间控制技术，推广至多机、多产......
提出了用一种半导体工业用双产品模型来研究基于机台和基于产品的控制方法。在此基础上，得到了闭环系统的输出，评估了控制性能。由于......
批间控制(RtR)是半导体晶圆生产过程控制的有效算法。然而,受测量手段与测量成本的限制,难以实时检测晶圆的品质数据,即:存在一定......
批间（run—to—run，简称R2R）控制现今已被广泛用于半导体生产行业．指数加权移动平均（exponet weighted moving average，EwMA）是R2R控制的......
近些年来,随着集成电路行业的飞速发展,半导体晶圆的尺寸变得越来越大,另一方面,关键尺寸的技术节点则日益缩小,为保证新技术下硅......
半导体生产工业的高投入以及生产设备的昂贵使得生产效率的提高对生产商来说至关重要。因此,在当代半导体生产厂中,同一个生产机台......
在智能制造,尤其是半导体制造过程中,批间控制(Run to Run控制)是一种广泛使用的控制方法。其控制原理是通过之前一个生产批次完成......
批间控制广泛应用于半导体制造业。在现代晶圆生产工厂中,一台设备同时生产加工不同类型产品的混合生产模式已经是一种常态。单一......
批间(Run-to-Run，简称RtR)控制起源于半导体生产过程，批间控制是在结合EPC(Engineering Process Control)和SPC(Statistical Process......
批间控制是半导体批次生产过程中常用算法,其关键问题在于能够及时获取上一批次的制程输出,受测量手段及其成本限制,实际的生产制......
批间控制（RtR）是半导体晶圆生产过程控制的有效算法．然而，受测量手段与测量成本的限制，难以实时检测晶圆的品质数据，即：存在一定的测量时......
