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综合分析了各种纳米位移传感器的特性及灵敏度，通过传感和方法和传感结构，运用统一的模型进行了定量分析和比较。得出了各种传感器最小检测信号的计算公式及理论值。
纳米位移传感器最小检测信号评述
【摘 要】
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综合分析了各种纳米位移传感器的特性及灵敏度，通过传感和方法和传感结构，运用统一的模型进行了定量分析和比较。得出了各种传感器最小检测信号的计算公式及理论值。
【机 构】
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清华大学精密仪器系
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1998年1期
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