【摘 要】
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通过溶胶凝胶法和旋涂法制备了单层和双层TiO2-KTaO3薄膜,并在不同的温度下退火1h,研究了该薄膜的湿敏传感特性。通过扫描电镜和X射线衍射研究了薄膜的形态特性,发现该薄膜具
【机 构】
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重庆大学数理学院,重庆师范大学物理系
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通过溶胶凝胶法和旋涂法制备了单层和双层TiO2-KTaO3薄膜,并在不同的温度下退火1h,研究了该薄膜的湿敏传感特性。通过扫描电镜和X射线衍射研究了薄膜的形态特性,发现该薄膜具有纳米颗粒和毛细多孔结构。环境湿度变化从12%RH-97%RH的变化过程中,在500℃下退火的TiO2/KTaO3薄膜具有很高的灵敏度。对比单层薄膜,双层薄膜显示出有更大的电阻变化范围。还研究了TiO2/KTaO3薄膜的湿敏传感机理。
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