通过电子束热蒸发技术在K9玻璃上镀制光学厚度l4的TiO2薄膜,研究不同沉积速率和沉积角度对TiO2薄膜散射损耗的影响规律和机理,并利用TalysurfCCI白光干涉表面轮廓仪和horos散射仪分别测量镀制前后薄膜表面粗糙度和双向反射分布函数。实验结果表明:TiO2薄膜表面粗糙度随着沉积速率的增大而减小,最终将趋于0.88nm,且实验值都小于基底表面粗糙度1.5nm,表明TiO2薄膜可以降低基底表面粗糙度,具有平滑基底的作用。随着入射沉积角的增大,薄膜的表面粗糙度也会逐渐增加,当角度为0°和20°时,薄膜表面粗糙度小于基底表面粗糙度;当角度为40°和60°时,薄膜表面粗糙度将大于基底表面粗糙度。薄膜表面散射量随表面粗糙度的降低而降低,且与表面粗糙度变化量一致,两者具有正相关关系,实验数据与理论计算相吻合;当薄膜表面粗糙度小于基底粗糙度时,薄膜表面散射将低于裸基底的表面散射,可实现减散射的效果。