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盐酸广泛应用于半导体工业。目前，半导体器件设计的线宽更小，因此更易受到低水平杂质的影响。在一些关键工艺中，为达到其所需性能和质量，
动态反应池电感耦合等离子体质谱仪分析半导体级盐酸中杂质
【摘 要】
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盐酸广泛应用于半导体工业。目前，半导体器件设计的线宽更小，因此更易受到低水平杂质的影响。在一些关键工艺中，为达到其所需性能和质量，
【机 构】
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珀金埃尔默仪器上海有限公司北京办事处
【出 处】
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岩矿测试
【发表日期】
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2010年1期
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