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本文介绍了480mm×280mm的船形碳化硅平面反射镜数控研磨的工艺参数的确定和工艺流程；并介绍了在研磨过程中使用的机床、磨具、磨料及采用的工艺参数和检测方法。给出了研磨前后480mm×280mm的船形碳化硅平面反射镜面形精度和表面粗糙度的检测结果：面形精度峰谷值（PV）由初始的21．7微米收敛到4．62微米，均方根值（RMS）由3．70微米收敛到0．558微米，并把轮廓检测结果与干涉检测结果进行了比较。