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着重介绍了用于水质检测的电化学、声学、光学三种类型微传感器以及微分析系统、微传感片上系统两类微系统的基本原理、特点和研究进展；比较了不同类型微传感器的性能差异；讨论了目前水质检测微传感器及微系统在研究中存在的主要问题及解决方法，并对其未来的发展前景进行了展望。
用于水质检测的微传感器及微系统
【摘 要】
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着重介绍了用于水质检测的电化学、声学、光学三种类型微传感器以及微分析系统、微传感片上系统两类微系统的基本原理、特点和研究进展；比较了不同类型微传感器的性能差异；讨论
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院研究生院
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2009年6期
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