类金刚石薄膜的微／纳米机械和摩擦性能

来源 :中国航空学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gaoyijie1983

【摘要】

：

采用真空磁过滤等离子电弧沉积的方法在9Cr18钢上沉积不同厚度的DLC膜.为了检测成膜质量,在较宽的载荷范围内分别使用显微硬度、纳米压痕和划痕技术表征9Cr18钢和DLC/9Cr18的

【作者】

：

张泰华刘东旭郇勇杨业敏王秀兰

【机构】

：

LNM,BeijingResearchInstituteofAerospaceMaterials&,Technology

【出处】

：

中国航空学报：英文版

【发表日期】

：

2003年1期

【关键词】

：

纳米压痕划痕技术摩擦性能机械性能 DLC膜类金刚石薄膜 diamond-like carbon microhardness nanoindentat

【基金项目】

：

国家自然科学基金，中国科学院资助项目

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采用真空磁过滤等离子电弧沉积的方法在9Cr18钢上沉积不同厚度的DLC膜.为了检测成膜质量,在较宽的载荷范围内分别使用显微硬度、纳米压痕和划痕技术表征9Cr18钢和DLC/9Cr18的机械和摩擦性能.结果显示,9Cr18和DLC的纳米硬度和弹性模量分别为8GPa、250GPa和60GPa、600GPa,9Cr18、DLC和有机膜的摩擦系数分别为0.35、0.20和0.13.纳米压痕和划痕技术能为DLC/9Cr18提供丰富的近表面弹塑性变形和摩擦、磨损等信息.DLC/9Cr18的机械和摩擦性能的研究可以用来

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