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介绍了一种薄膜制造实时光学监控系统,对监控系统的组成及各个模块的功能和工作原理进行分析.系统由计算机对信号进行采集、分析和判断,根据膜层的不同特点采取相应的监控方式,可以对各种规整和非规整膜系进行监控,自动开闭蒸发源挡板.
薄膜滤光片淀积过程实时光学监控系统
【摘 要】
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介绍了一种薄膜制造实时光学监控系统,对监控系统的组成及各个模块的功能和工作原理进行分析.系统由计算机对信号进行采集、分析和判断,根据膜层的不同特点采取相应的监控方
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2004年2期
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