扫描探针检测交变力场

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设计了一个可检测交变力场的扫描探针系统,针尖受到与样品间的交变电场力或磁场力的作用而振动,针尖振动由一超外差激光干涉仪检测。从而确定作用力的大小,该文分析了系统的灵敏度,测量了针尖与样品间的交变电场力随两者间距的变化曲线,对周期性分布的电场进行了一维扫描检测,并进行了金属薄膜厚度的测量。该文还利用磁性探针进行了交变磁场力的检测,系统的电磁力检测灵敏度为10^-11N。
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