LaB_x溅射膜的排气特性

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【摘要】

：

据日本《真空》杂志1993年第5期报道,LaBx的溅射膜具有良好的排气特性。最近,日本在天体物理学领域中,正在实施采用大型激光干涉计检测重力波的计划。为了安置干

【作者】

：

李春鸿

【出处】

：

稀土信息

【发表日期】

：

1994年1期

【关键词】

：

LaB_x 光学系统激光干涉重力波排气速度试验人员

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据日本《真空》杂志1993年第5期报道,LaBx的溅射膜具有良好的排气特性。最近,日本在天体物理学领域中,正在实施采用大型激光干涉计检测重力波的计划。为了安置干涉计的光学系统,建设了直径1m,长数km的真空通道,该真空通道的真空度预计保持在10-6Pa以下。调整光学系统时,需反

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