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以醋酸镁为原料,用自制的压缩喷雾热分解装置对氧化镁薄膜的制备工艺进行了详细的研究,利用X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）对薄膜的微观结构进行了分析,以期寻求到较佳的制备薄膜的条件。结果表明,为获得性能较好的MgO薄膜,衬底温度和喷雾速率是关键因素。控制实验条件,可在600℃得到了较好的MgO薄膜,结果显示所得样品为立方MgO多晶薄膜。