工程通用技术——用激光分子束外延在Si衬底上外延生长La1-xSrxMnO3单晶薄膜

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采用SrO和SrTiO3作为缓冲层,用激光分子束外延在Si(100)衬底上成功地外延生长出La1-xSrxMnO3(x=0.1,0.2,0.3)(LSMO)单晶薄膜.锐而清晰的反射式高能电子衍射仪(RHEED)的衍射条纹和持久的RHEED强度振荡,表明LSMO薄膜是很好的二维层状外延生长,X射线衍射和高分辨透射电镜分析结果证明,在Si基底上获得了很好外延生长的LSMO薄膜,LSMO薄膜为C取向的单晶薄膜.并在室温条件下观测到很好的LSMO/Si P—n结I-V整流特性.参15
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