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研究了980 nm垂直腔面发射激光器(VCSEL)的结构设计和器件制作,实现了室温下的脉冲激射.在脉宽为50 μs,占空比为5∶1000的脉冲电流下,直径400 μm的器件输出光功率最高可达380 mW,发散角小于10°,光谱的半高全宽为0.8 nm.
980 nm高功率垂直腔面发射激光器
【摘 要】
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研究了980 nm垂直腔面发射激光器(VCSEL)的结构设计和器件制作,实现了室温下的脉冲激射.在脉宽为50 μs,占空比为5∶1000的脉冲电流下,直径400 μm的器件输出光功率最高可达3
【机 构】
：
中国科学院激发态物理开放实验室,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130021吉林大学电子科学与工程学院,吉林,长春,130026;中国科学院激发态物理开放实验室,中国科学院长春光学
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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2004年2期
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