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在电子回旋共振(ECR)等离子体装置中,使用Ar气,N2气,H2气和普通空气放电,对聚四氟乙烯(PTFE)材料进行表面处理以提高其表面粘结性能.详细研究了在不同的放电气压,微波功率,处理时间,气体种类的情况下,样品表面的接触角的变化.同时也讨论了样品导电性能和外观等的变化.使用红外吸收谱对样品结构处理前后的变化进行了测量,对等离子体处理的机理进行了初步的讨论.使用Langmuir探针测量了Ar气和N2气等离子体中的离子密度,用能量分析器测量了离子的能量.发现在对样品的处理中,ECR等离子体的离子密度是影响