两种子孔径检测方法的比较

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<正> 现有两种处理子孔径干涉图以产生全孔径象差系数的方法:即Kwon—Thunen法及同时拟合法。由大量数值比较的结果示出对无平面与平面对准而言,两种方法同样地对两者高阶噪音及随机噪音有相等的灵敏性。对理想的平面与平面对准而言,Kwon—Thunen法的噪音灵敏度减小三倍。同时拟合法需较少的抽样点且较Kwon—Thunen法运行的快。
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