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本文研究射频磁控溅射镍钛形状记忆薄膜相交行为和性能。 在一定化学成分下，晶化退火温度对富钛薄膜的相变过程及相变温度有很大影响。富钛薄膜的相变温度一般较高，马氏体相变温度在室温之上。在富钛薄膜中有可能出现双马氏体峰。 富钛薄膜在循环或者时效时。相交特性和结构显示了良好的稳定性。 研究结果表明，富钛的镍钛薄膜适当控制成份和热处理条件可具有适当的相变温度和较小滞后并且具有良好的形状记忆效应；可以得到只发生Ｒ相变及道相变的富钛薄膜、其相变温度滞后只有２℃左右，很适合用来制作徽机械驱动器。