【摘 要】
：
在TFT制程中,曝光工艺直接影响到薄膜的最终图案质量。为了分析与解决曝光色差问题,需对面板的点灯现象与制备工艺进行调查与研究。首先,通过扫描电子显微镜分析、错位曝光试验、数据分析等方法进行不良原因调查。同时,借助开源软件GIMP和Fiji进行图像处理得到面板灰度数据,对色差程度进行定量评价。然后,通过调整曝光设备照度均一性与管控最优生产路径,曝光色差发生率从10%以上降至1%以内,有效改善面板显示
【机 构】
：
南京中电熊猫平板显示科技有限公司,江苏南京210046
论文部分内容阅读
在TFT制程中,曝光工艺直接影响到薄膜的最终图案质量。为了分析与解决曝光色差问题,需对面板的点灯现象与制备工艺进行调查与研究。首先,通过扫描电子显微镜分析、错位曝光试验、数据分析等方法进行不良原因调查。同时,借助开源软件GIMP和Fiji进行图像处理得到面板灰度数据,对色差程度进行定量评价。然后,通过调整曝光设备照度均一性与管控最优生产路径,曝光色差发生率从10%以上降至1%以内,有效改善面板显示品质。最后,结合ExpertLCD光学模拟数据与电容耦合效应分析,进一步阐述曝光色差的形成机理。研究发现
其他文献
1．怕硬土：萝卜是喜软怕硬的蔬菜，栽培的土壤除了不是十字花科蔬菜的连作菜土外，还要求土层深厚、土质松软、排灌方便，这样萝卜才会品质好、产量高。
本文采用国产外延材料及0.15μm GaN HEMT工艺,突破了Ka波段GaN功率MMIC的设计、工艺、测试等关键技术,研制成功Ka波段12W GaN功率放大器MMIC.电路采用三级级联放大结构,采用
问:夏天到了,我喜欢吃西瓜来解渴,可是怎样才能挑到好吃的西瓜呢?答:购买西瓜时,想要挑选到称心如意的西瓜,就要注意做好以下几点哦。
当病人发生脑梗塞或脑出血时,家人要做的有两件事,第一个是对病人做一个简单的处置,把病人摆好体位;第二,打紧急电话。在对病人做处理时,有两个方面要特别注意,第一个是让病
摘要：随着计算机信息技术的高速发展，新课改的不断深入，多媒体教学在教育领域中的应用越来越广泛。就高中思想政治教育而言，在多媒体环境下，其教育方式和教育手段都发生了许多的改变。多媒体教学在为高中政治教育教学带来便利的同时，也使其面临着更多新困境。因此，本文将结合高中思想政治教育的困境，提出相关的突破措施，以期能够为广大的高中思想政治老师提供一定的理论参考和借鉴。 关键词：多媒体环境；高中；思想政治
本文从海洋与气候变化等重大前沿科学与应用对空间海洋观测系统的需求出发,基于当前国内外空间激光技术水平与前期海洋激光遥感的探索,提出了海洋遥感从二维向三维发展的紧迫性,并将海洋剖面探测激光雷达作为未来"海洋三维遥感"的主要技术手段。本文对近50年国内外激光海洋剖面探测技术的理论与应用、基础性关键探测机理问题,尤其是近10年来的试验性探索及其在多个海洋科学问题中的应用进行了综述。结合中国自主"观澜号"
由于冬季的气温大多在10摄氏度以下,关节炎的侵袭是一大问题。在冬天穿着裙装,双腿会受到寒气的侵袭,出现发凉、麻木、酸痛等症状。尤其是那些皮下脂肪偏少的女性朋友,更容易
本文研究了基于T公司生产的某型号正性光阻,采用错位叠加紫外曝光工艺,实现灰阶曝光效果的方法,最终得到具有特定角度的楔形斜面结构。光阻在进行紫外感光前后,对紫外光的吸收系数α会发生变化,根据朗伯比尔定律(Lambert-Beer law),将楔形斜面结构等效成台阶状结构,并通过实验计算出使该光阻发生光解反应的临界曝光能量I、光阻感光前后的吸收系数α和α′,并进一步根据等效模型结构得到错位叠加曝光过程
本文提出了一种的电流复用差分低噪声放大器结构.NMOS和PMOS晶体管对复用同一路静态电流.普通的电流复用差分低噪声放大器同时在NMOS管和PMOS管上采用源端电感负反馈形成输入
粤港澳大湾区是中国重点建设的战略区域,其协同结构的有效认知是打造世界级湾区的核心研究内容。作为一种重要的城镇群发展模式,大湾区内部具有复杂的城镇协同关系,这一关系充分体现在城镇间的人群流动特性上,而跨城职住迁徙是区域人口流动的一种直观、稳定的表现,基于高精度跨城职住迁徙数据开展湾区协同结构的认知意义显著。文章在总结归纳国内外湾区协调发展研究、跨城职住综合应用研究的基础上,基于百度地图所识别的跨城职