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SiC作为第三代半导体材料的代表,如何提高SiC晶体质量受到了国内外广泛关注。本文针对PVT法生长SiC晶体的生长方法及装置设置的专利进行综述。通过国内外专利申请量、主要申请人以及改进方向的对比,把握国内外技术演进方向和改进侧重点,寻找国内外技术差距。
PVT法生长碳化硅的生长方法及装置设置专利技术综述
【摘 要】
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SiC作为第三代半导体材料的代表,如何提高SiC晶体质量受到了国内外广泛关注。本文针对PVT法生长SiC晶体的生长方法及装置设置的专利进行综述。通过国内外专利申请量、主要申
【机 构】
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国家知识产权局专利局专利审查协作江苏中心
【出 处】
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广东化工
【发表日期】
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2020年21期
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