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主要介绍了ＴＺ－１０９自动探针测试台控制软件的设计方法及实验途径，为半导体专用设备的工控机控制软件的编制探索了一种途径。
TZ—109自动探针测试台控制软件的设计与实现
【摘 要】
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主要介绍了ＴＺ－１０９自动探针测试台控制软件的设计方法及实验途径，为半导体专用设备的工控机控制软件的编制探索了一种途径。
【机 构】
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信息产业部电子第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2000年3期
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