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氮化铝纳米晶和纳米线的研究进展
氮化铝纳米晶和纳米线的研究进展
来源 :山西师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:jiayunyangls
【摘 要】
:
本文总结了氮化铝(AlN)纳米晶和纳米线研究的最新进展, 详细讨论了直流弧光放电蒸发、化学气相沉积、磁控溅射、脉冲辅助激光刻蚀和有机溶液相反应等方法合成氮化铝纳米晶的
【作 者】
:
杨金香
【机 构】
:
长治医学院化学教研室
【出 处】
:
山西师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2003年2期
【关键词】
:
氮化铝纳米晶
氮化铝纳米线
研究进展
直流弧光放电蒸发
化学气相沉积
磁控溅射
脉冲辅助激光刻蚀
有机溶液相反应
Aluminum nitride (AlN)
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本文总结了氮化铝(AlN)纳米晶和纳米线研究的最新进展, 详细讨论了直流弧光放电蒸发、化学气相沉积、磁控溅射、脉冲辅助激光刻蚀和有机溶液相反应等方法合成氮化铝纳米晶的最新研究成果,并对AlN纳米线研究作了评述.
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