【摘 要】
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合成了适于半绝缘碳化硅单晶生长的高纯度SiC粉料。实验发现，不同的硅粉形状、粒度以及合成温度、时间都对合成产物的形貌、组成和产率有影响。合成产物的形貌通过扫描电子显
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(50721002);国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2006AA03A145,2007AA03Z405);山东省科技发展计划资助项目(2006GG1103046);教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NECT-04-0625)
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合成了适于半绝缘碳化硅单晶生长的高纯度SiC粉料。实验发现，不同的硅粉形状、粒度以及合成温度、时间都对合成产物的形貌、组成和产率有影响。合成产物的形貌通过扫描电子显微镜（SEM）观察，结构通过粉末衍射法（XRD）测定。结果表明，合成产率与Si粉的表面积有十分重要的关系，表面积越大，合成产率越高。合成温度和时间则决定了合成产物中α-SiC和β—SiC的比例。辉光放电质谱（GDMS）测量了合成产物的杂质含量，表明合成产物符合半绝缘SiC单晶的生长要求。
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