【摘 要】
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微测辐射热计(Microbolometer)是一种利用半导体工艺集成的微型辐射热计阵列,是目前仅有的两种常温工作型红外成像传感器的主要代表 本文论述了实现微测辐射热计的技术途径,
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微测辐射热计(Microbolometer)是一种利用半导体工艺集成的微型辐射热计阵列,是目前仅有的两种常温工作型红外成像传感器的主要代表 本文论述了实现微测辐射热计的技术途径,现有产品的主要技术指标,微测辐射热计的特点、应用以及发展趋势
Microbolometer is a kind of micro-bolometer array integrated by semiconductor technology. It is the only representative of the two normal-temperature working-type infrared imaging sensors. This paper discusses the technical ways of realizing micro-bolometer , The main technical indicators of the existing products, the characteristics, application and development trend of the microbolometer
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