一种二元整形元件激光直写方法的实验研究

来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Zerolzx

【摘要】

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为了实现具有复杂位相结构的二元光束整形元件,提出了采用方光点的激光直写系统来逐点光刻浮雕位相结构的方法,通过双远心投影缩微光路获得5～20 μm方点,光点尺寸对应于最小位

【作者】

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陈林森邵洁王雪辉徐兵解剑峰沈雁

【机构】

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苏州大学信息光学工程研究所

【出处】

：

光子学报

【发表日期】

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2005年3期

【关键词】

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二元光学衍射位相编码激光直写 Binary optics diffraction phase encoding laser direct writi

【基金项目】

：

教育部跨世纪优秀人才培养计划

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为了实现具有复杂位相结构的二元光束整形元件,提出了采用方光点的激光直写系统来逐点光刻浮雕位相结构的方法,通过双远心投影缩微光路获得5～20 μm方点,光点尺寸对应于最小位相单元,从而获得了位相结构的高质量直写. 分析了高斯光点和方光点位相单元结构对二元整形元件衍射效率的影响,方形两台阶二元整形元件的+1级衍射效率达到31%,给出了实验结果.

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