【摘 要】
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采用溶胶-凝胶工艺在Si（111）衬底上制备了ZnO薄膜,考虑影响晶体质量的4个因素,应用正交实验法进行了工艺优化；利用X射线衍射仪对薄膜的晶体结构进行了分析讨论.结果表明,当陈化
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采用溶胶-凝胶工艺在Si（111）衬底上制备了ZnO薄膜,考虑影响晶体质量的4个因素,应用正交实验法进行了工艺优化；利用X射线衍射仪对薄膜的晶体结构进行了分析讨论.结果表明,当陈化温度50℃、预处理温度200℃、退火温度650℃和Zn2＋浓度0.35 mol/L时,ZnO薄膜的C轴择优取向度最高.
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