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采用Ｘ射线光电子能谱对ＩｎＧａＡｓＰ／ＩｎＰ异质结构的ＭＯＣＶＤ外延晶片作了表面薄层元素、组分定性、定量和深度分布分析。利用ＸＰＳ组分定量数据与带隙和组分量数据与晶体常数的经验公式计算带隙、晶格常数和失配率，并与光压谱测定的带隙值和Ｘ射线双晶衍测定的失配率作了比较，比较结果是满意的。
InGaAsP／InP异质结构材料组分及结构的XPS测定
【摘 要】
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采用Ｘ射线光电子能谱对ＩｎＧａＡｓＰ／ＩｎＰ异质结构的ＭＯＣＶＤ外延晶片作了表面薄层元素、组分定性、定量和深度分布分析。利用ＸＰＳ组分定量数据与带隙和组分量数据与晶体常数的经验公式计算带隙、晶格常数和
【机 构】
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武汉工业大学,武汉电信器件公司
【出 处】
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光通信研究
【发表日期】
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1996年2期
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