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用高功率Nd~(3+):YAG脉冲激光轰击石墨靶,成功地制备出无氢的类金刚石碳膜(DLC)。用吸收光谱分析法研究了不同制备条件下样品的光学带隙。发现在衬底温度不变时,样品的光学带隙随生长室内靶衬之间的加速电压而变化,公700～1000 V的加速电压下制备的薄膜具有较大的光学带隙。
用激光等离子体气相沉积法制备类金刚石薄膜及光学性质研究
【摘 要】
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用高功率Nd~(3+):YAG脉冲激光轰击石墨靶,成功地制备出无氢的类金刚石碳膜(DLC)。用吸收光谱分析法研究了不同制备条件下样品的光学带隙。发现在衬底温度不变时,样品的光学带
【机 构】
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中国科学技术大学物理系,中国科学技术大学物理系合肥,230023,合肥,230023
【出 处】
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量子电子学
【发表日期】
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1993年3期
【基金项目】
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国家863资助课题
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