信号调制法测量中性粒子ESD脱附截面

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fanjing0

【摘要】

：

ESD截面是电子诱导脱附研究中的用以描述脱附产物的一个重要物理量,中性粒子ESD脱附截而的测量一直是ESD截面测量中比较难以解决的问题.本文介绍了利用信号调制法测量了中性

【作者】

：

张彤胡安毛福明杨学谦

【机构】

：

南京大学微结构物理国家重点实验室,东南大学电子工程系

【出处】

：

真空科学与技术

【发表日期】

：

2002年6期

【关键词】

：

信号调制法测量中性粒子 ESD脱附截面电子诱导脱附 ElectronStimulatedDesorption ESD crosssection Pulse

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ESD截面是电子诱导脱附研究中的用以描述脱附产物的一个重要物理量,中性粒子ESD脱附截而的测量一直是ESD截面测量中比较难以解决的问题.本文介绍了利用信号调制法测量了中性粒子ESD脱附截面的原理,同时利用该方法测量了1×10-3Pa下,N2从多晶W表面脱附时N2的中性脱附产物的ESD截面,并对实验方法及测量结果进行了分析讨论.该方法有效地解决了中性粒子ESD截面的测量问题.

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