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为了防止活性等离子体对下层银膜的破坏，采用多晶TiO2导体烧结靶，使用射频磁控溅射方法在纯氩等离子气氛中制备了大面积均匀的TiO2、Ag@TiO2薄膜。为了了解其结构与电子和光学特性间的相互作用，对TiO2和TiO2／Ag／TiO2样品的制备参数（如射频功率、总压和直流电压的共同影响）进行了研究。采用掠入射X射线衍射、紫外可见吸收、拉曼光谱等技术研究了根据其结构调整光学性能的可能性。结果显示，沉积的TiO2薄膜具有与在氩气和氧气混合气氛中沉积所得薄膜相似的形貌、电子和光学特性、能隙带宽和晶相；且所制备的A