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本文就电子束热源在夫空镀膜设备中的应用原理，特点，类型选择及设计中的若干问题进行了探讨。
电子束热源在真空镀膜设备中的应用
【摘 要】
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本文就电子束热源在夫空镀膜设备中的应用原理，特点，类型选择及设计中的若干问题进行了探讨。
【机 构】
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营口高等职业专科学校
【出 处】
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电大理工
【发表日期】
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2000年2期
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