【摘 要】
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基于HoloMaker-IV激光干涉直写系统的数字微反射镜（digital micro-mirror device,DMD）并行输入光刻方式,提出了根据图形特性的智能边界处理,实现了超高分辨率图像的高效激光直
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基于HoloMaker-IV激光干涉直写系统的数字微反射镜（digital micro-mirror device,DMD）并行输入光刻方式,提出了根据图形特性的智能边界处理,实现了超高分辨率图像的高效激光直写干涉光刻。通过DMD输入图形与系统干涉控制参数相互匹配处理的方式对256色位图进行了图形格式转换,从而支持2D/3D,3D光变图像以及各种微图形文字的处理,为高效率制作高品质光变图像提供了新方法。实验表明：在2400DPI分辨率下,该方法比传统逐点光刻法的运行效率提高90倍。给出了高质量的实验结果。
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