数字光变图像相关论文
基于HoloMaker-IV激光干涉直写系统的数字微反射镜(digital micro-mirror device,DMD)并行输入光刻方式,提出了根据图形特性的智能边......
通过将数字微反射镜(Digital Micro—mirror Device,DMD)输入阵列图形微缩干涉成像,激光干涉直写系统在光刻胶板上得到缩小的干涉光斑......
目前,包括我国在内的多个国家成功研制了不同结构的激光直写系统,应用于如集成电路制造、微光学元件加工、MEMS、光学检测、光学防伪......
随着光电子器件、平板显示器和激光全息行业的快速发展和技术进步,对激光直写系统的性能提出了更高的要求。从国内外激光直写系统......