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<正>目前国内如开封空分设备厂、哈尔滨制氧机厂、邯单(?)阳机械厂、自贡机械一厂以及杭州制氧机厂等除了某些厂已生产了一部分稀有气体制造设备,气体液化设备和大型空分设备外。大致均以制造中、小型的氧氮空气分离设备为主。在中、小型制氧设备的成套装备中,一般包括有空气压缩机、洗涤塔、碱水拌和桶、碱水泵、干燥器、加热炉、分馏塔,膨胀机、氧气压缩机、充氧台等部机。就其制造要求和工艺特征来说,这些部机大致可区划为三种制造类型。